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IH80
17-03-09 17:18 1,568회 0건
+ Name IH80
+ Special Feature 유틸리티 소비 최적화
예방 유지 보수 필요 없음
입자의 효과적 처리 위한 캔티레버 샤프트 및 특수 프로파일 로터
부식 방지 재료를 사용하여 부식성 가스를 펌핑할 수 있습니다.
온도가 높을수록 가스 응축을 방지하는 능력이 뛰어납니다.
+ Application Sphere 설치 면적과 소유 비용을 최소화
서비스 수명을 연장하고 가동 시간을 개선하며 생산성을 향
+ Application Process • Lord Lock
• PVD 공정
• 식각
• HDP CVD
• SACVD
• MCVD
• PECVD
• LPCVD
• ALD

+ Technical Data



50Hz60Hz
최대 속도86m3h-1103;m3h-1
51cfm61cfm
1433l min-11717l min-1
극한 진공3 x 10-2mbar1 x 10-2mbar
2.3 x 10-2Torr7.5 x 10-3Torr
3Pa1 Pa
일반 샤프트 실 질소 흐름4slm4slm
흡입구 연결부ISO63ISO63
배출구 연결부NW40NW40
일반 냉각수 흐름(15psi 압력 강하)120l h-1120l h-1
2l min-12l min-1
무게240kg240kg
극한에서의 전원 입력2.4kW2.7kW
정격 모터 전력2.9kW3.5kW
오일 용량0.7l0.7l

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