| + Name | IH80 |
| + Special Feature | 유틸리티 소비 최적화 예방 유지 보수 필요 없음 입자의 효과적 처리 위한 캔티레버 샤프트 및 특수 프로파일 로터 부식 방지 재료를 사용하여 부식성 가스를 펌핑할 수 있습니다. 온도가 높을수록 가스 응축을 방지하는 능력이 뛰어납니다. |
| + Application Sphere | 설치 면적과 소유 비용을 최소화 서비스 수명을 연장하고 가동 시간을 개선하며 생산성을 향 |
| + Application Process | • Lord Lock • PVD 공정 • 식각 • HDP CVD • SACVD • MCVD • PECVD • LPCVD • ALD |
+ Technical Data
| 50Hz | 60Hz | |
| 최대 속도 | 86m3h-1 | 103;m3h-1 |
| 51cfm | 61cfm | |
| 1433l min-1 | 1717l min-1 | |
| 극한 진공 | 3 x 10-2mbar | 1 x 10-2mbar |
| 2.3 x 10-2Torr | 7.5 x 10-3Torr | |
| 3Pa | 1 Pa | |
| 일반 샤프트 실 질소 흐름 | 4slm | 4slm |
| 흡입구 연결부 | ISO63 | ISO63 |
| 배출구 연결부 | NW40 | NW40 |
| 일반 냉각수 흐름(15psi 압력 강하) | 120l h-1 | 120l h-1 |
| 2l min-1 | 2l min-1 | |
| 무게 | 240kg | 240kg |
| 극한에서의 전원 입력 | 2.4kW | 2.7kW |
| 정격 모터 전력 | 2.9kW | 3.5kW |
| 오일 용량 | 0.7l | 0.7l |