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IH1800(HTX)
17-03-09 17:21 1,690회 0건
+ Name IH1800(HTX)
+ Special Feature 유틸리티 소비 최적화
예방 유지 보수 필요 없음
입자의 효과적 처리 위한 캔티레버 샤프트 및 특수 프로파일 로터
부식 방지 재료를 사용하여 부식성 가스를 펌핑할 수 있습니다.
온도가 높을수록 가스 응축을 방지하는 능력이 뛰어납니다.
+ Application Sphere 설치 면적과 소유 비용을 최소화
서비스 수명을 연장하고 가동 시간을 개선하며 생산성을 향상
신뢰성과 성능을 극대화
+ Application Process • Lord Lock
• PVD 공정
• 식각
• HDP CVD
• SACVD
• MCVD
• PECVD
• LPCVD
• ALD

+ Technical Data


최대 속도1800m3h-1
1060cfm
30000 l min-1
극한 진공1 x 10-3mbar
7.5 x 10-4Torr
0.1Pa
일반 샤프트 실 질소 흐름4slm
흡입구 연결부ISO160
배출구 연결부NW40
일반 냉각수 흐름(15psi 압력 강하)240 l h-1
4 l min-1
무게502kg
극한에서의 전원 입력4.1kW
정격 모터 전력7.0kW
오일 용량1.6l

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