| + Name | iGX Dry Pump |
| + Special Feature | 설명입니다설명입니다설명입니다설명입니다설명입니다설명입니다 |
| + Application Sphere | |
| + Application Process |
+ Technical Data
| iGX100 L/N/M/TI | iGX600 L/N | iGX1000 L/N | |
| 최대 속도 | 105m3h-1 | 620m3h-1 | 800m3h-1 |
| 62cfm | 365cfm | 471cfm | |
| 1750 l min-1 | 10333 l min-1 | 13333 l min-1 | |
| 극한 압력 | 5.00E-03mbar | 7.00E-04mbar | 1.00E-03mbar |
| 3.75E-03Torr | 5.25E-04Torr | 7.50E-04Torr | |
| 0.50Pa | 0.07Pa | 0.10Pa | |
| 700Torr 배출구압에서의 전력 | |||
| 극한 | 1kW | 1.6kW | 1.6kW |
| AUC(Active Utility Controller) | 0.05kW | 0.05kW | 1.05kW |
| 흡수구* | 1slm | 2slm | 2slm |
| 질소 | 0slm / 4 또는 14slm | ||
| 무게 | 120kg | 220kg | 230kg |
| 흡입구 연결부 | ISO63 | ISO100 | ISO100 |
| 배출구 연결부 | NW25 | ||
| 극한에서의 소음 | < 55dB(A) | ||