| + Name | Mechanical Booster Pump EH Series |
| + Special Feature | 경제적이고 성능이 뛰어나다 효율적으로 전력을 전송하는 고유한 유체동력 구동 보조 펌프와 동시에 부스터펌프를 사용할 수 있어 높은 확산 압력에서 사용 |
| + Application Sphere | 0.01 ~ 50 mbar/0.0075 ~ 37.5Torr의 압력 범위에서 3000m3h-1/1776 ft3min-1 이상의 펌핑 속도가 필요한 용도에 적합 조용하고 진동없는 작동, 견고성, 부식방지 |
| + Application Process | •반도체 공정 •진공 증류 •진공 포장 •강철 탈기 •박막 코팅 •저밀도 풍동 •오일 건조 및 탈기 •제약 동결 건조 •CO2 레이저 |
+ Technical Data
| 효율적인 펌핑 속도 | ||
| (보조 펌프 포함) | ||
| E1M40 또는 E2M40 | 350m3h-1/206ft3min-1 | |
| E1M80 또는 E2M80 | 400m3h-1/236ft3min-1 | |
| E1M175 또는 E2M175 | 440m3h-1/259ft3min-1 | |
| E1M275 또는 E2M275 | 460m3h-1/271ft3min-1 | |
| 차압 교차 펌프 † | ||
| 50Hz | 0-110mbar/0-83Torr | |
| 60Hz | 0-90mbar/0-68Torr | |
| 흡입구 연결부 | ISO100 | |
| 배출구 연결부 | ISO63 | |
| 회전 속도 | ||
| 50Hz | 0-2900rpm | |
| 60Hz | 0-3500rpm | |
| 전기 공급장치 | ||
| 50Hz | 220-240V/380-415V | |
| 60Hz | 208-230V/460V | |
| 모터 전력 | ||
| 탄화수소 | 2.2kW/3hp | |
| PFPE | 1.5kW/2hp | |
| ATEX | 2.2kW | |
| 방폭형 | 3hp | |
| 주변 온도 범위 | ||
| 작동 | 5 ~ 40°C/40 ~ 104°F | |
| 보관 | -10 ~ 80°C/14 ~ 176°F | |
| 최대 작동 습도 | 90% RH | |
| 권장 오일 | ||
| 표준 버전 | Ultragrade 20 | |
| PFPE 버전 | Fomblin® YVAC 16/6 | |
| 무게 | 74kg/163lb |