+ Name | E1M275, E2M275 |
+ Special Feature | 속도 범위 0.7 ~ 275m3/hr(30 ~ 206CFM)의 견고한 기계식 오일 밀봉 펌프 윤활유 회로와 높은 안정성을 특징 |
+ Application Sphere | 가스 부하가 높은 상태에서도 효과적으로 윤활유 공급 펌프 스위치가 꺼진 상태에서 오일과 공기의 역류 방지 우수한 안정성, 고장 없고 긴 수명 |
+ Application Process | • 진공 야금 공정 • 박막 코팅 기술 • 제약 동결 건조 • 압력 변환기 및 케이블 건조/함침, 절연 오일 처리 장치 • 화학 산업의 진공 건조 및 증류 • 반도체 장치 제조 |
+ Technical Data
Specifications | E1M275 | E2M275 |
Displacement (swept volume) | ||
50 Hz | 172 cfm (292 m3h-1) | |
60 Hz | 206 cfm (350 m3h-1) | |
Speed (Pneurop) | ||
50 Hz | 150 cfm (255 m3h-1) | |
60 Hz | 180 cfm (306 m3h-1) | |
Ultimate vacuum (partial pressure) | ||
without gas ballast | 3.8 x 10-2 Torr 5 x 10-2 mbar | 7.5 x 10-5 Torr |
1 x 10-4 mbar | ||
with gas ballast | 3 x 10-1 Torr | 3.8 x 10-3 Torr |
4 x 10-1 mbar | 5 x 10-3 mbar | |
Inlet connection | ISO 63 blanking flange with seal | |
Outlet connection | ISO 40 flange center tapped 11/2 in BSP | |
Maximum permitted pressure at outlet | 0.5 bar gauge | |
Maximum inlet pressure for water vapor | 38 Torr (50 mbar) | 9 Torr (12 mbar) |
Maximum water vapor pumping rate | 20.3 lb h-1 (9.2 kg h-1) | 5.1 lb h-1 (2.3 kg h-1) |
Weight lb (kg) | 484 (220) | 495 (225) |
Motor power 50 Hz - 4 pole | 10 hp (7.5 kW) | |
Motor power 60 Hz - 4 pole | 11 hp (8.5 kW) | |
Standard oil capacity maximum | 29.5 qt (28 l) | |
Standard oil capacity minimum | 20 qt (19 l) | |
PFPE oil capacity maximum | - | 19 qt (18 l) |
PFPE oil capacity minimum | - | 7 qt (7 l) |
Recommended oil | Inland 70 Ultra |