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Seiko Seiki Turbo Pump
17-03-09 18:08 1,546회 0건
+ Name Seiko Seiki Turbo Pump
+ Special Feature 동급 최고의 성능
공정 유연성 최대화
+ Application Sphere 가스 처리량 향상
오염 차단
유지보수 비용 절감
+ Application Process • 반도체 및 자기 매체 산업의 주요 장비 제조업체

+ Technical Data


STP301
STP451
STP603
STPA803C
STPA1303C
STPA2203C
Inlet Flange
ISO 100
ISO 160
ISO 160
ISO 160
ISO 200
ISO250
CF 100
CF 160
CF 160
CF 160
CF 200
CF 250
Pumping Speed, L/S
Nitrogen
300
440
650
800
1300
2200
Helium
 
420
N/A
N/A
N/A
N/A
Hydrogen
300
275
550
520
800
1700
Compression Ratio
Nitrogen
10/8
10/8
10/8
10/8
10/8
10/8
Helium
N/A
5 x 10/5
N/A
N/A
N/A
N/A
Hydrogen
2 x 10/4
2 x 10/4
10/5
10/3
10/3
10/4
Ultimate Pressure (mbar)
10-10
10-10
10-10
10-9
10-9
10-9
Startup Time (min)
3
6
3
7
7
7
Rotational Speed (rpm) 
48,000
48,000
35,000
32,500
32,500
27,000
Orientation
Any
Any
Any
Any
Any
Any
Backing Pressure (mbar)
0.1
0.1
0.1
0.1
0.1
0.1
Outlet Flange
NW25
NW25
NW40
NW40
NW40
NW40
Weight (lb)
24
53
69
86
86
134
Controller
301-451
301-451
SCU-800
SCU-800
SCU-800
SCU-1600

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