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Edwards Turbo Moleculer Pump
17-03-09 18:09 1,810회 0건
+ Name Edwards Turbo Moleculer Pump
+ Special Feature
+ Application Sphere
+ Application Process

+ Technical Data

Specifications
STP-300
STP-600
STP-1000
STP-2000
Flange size
Inlet flange
ISO100/6"CF
ISO160
ISO200
ISO250/12"CF
Outlet flange
NW25
NW40
Pumping speed (l/s)
N2 
340
650
1,000
2,000
He 
330
600
900
1,800
H2 
310
550
800
1,600
Compression Ratio
N2 
>108 
He 
2 x 105 
107
105
H2 
1 x 104 
105
104
Ultimate Pressure Pa(Torr)
10-8
10-9
Rated speed (rpm)
48,000
35,000
27,000
Starting time (min)
10
6
7
Vibration µm (P-P)
<0.01
Baking Temp. (°C)
<120
Lubricating oil
Not necessary
Installation position
Free
Type of cooling
Spontaneous cooling
Standard aux. pump (l/min)
240
340
540
Weight (kg)
Pump
12
30
31
65
Controller
27
21
40

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