| + Name | EXT 터보 분자 펌프 |
| + Special Feature | |
| + Application Sphere | |
| + Application Process |
+ Technical Data
| EXT75DX | EXT556H | |||
| 흡입 플랜지 | DN63ISO-K, DN63CF, DN40NW 또는 DN100ISO-K | 주 흡입 플랜지 | DN160ISO-K/DN160CF | |
| 배출 플랜지 | DN16NW | 배출 플랜지 | DN25NW | |
| 통풍/퍼지 포트 | 1/8인치 BSP | 통풍/퍼지 포트 | 1/8인치 BSP | |
| 펌핑 속도 ISO63/63CF(DN40NW)(ISO100) | 흡입 펌핑 속도*(압축률) | |||
| N2 | 61L s-1(42L s-1)(66L s-1) | N2 | 540ls-1 (>1010) | |
| He | 57L s-1 (49L s-1)(59L s-1) | He | 580ls-1 (108) | |
| H2 | 53L s-1 (48L s-1)(54L s-1) | H2 | 500ls-1 (106) | |
| 압축률 | Ar | 510ls-1 (>1010) | ||
| N2 | >1 × 1011 | 권장 보조 펌프 | RV12/nXDS10i | |
| He | 1 x 106 | 정격 회전 속도 | 50000rpm | |
| H2 | 5 x 104 | 냉각 방법 | 강제 공냉/수냉 | |
| 권장 보조 펌프* | RV5/nXDS6i | 강제 공냉을 위한 주변 공기 온도 | 0°C - 35°C | |
| 펌프 회전 속도 | 권장 냉각수 유량 | 15lh-1 | ||
| 정격 회전 속도 | 90000rpm | (15°C에서 수냉) | ||
| 대기 회전 속도 | 49500 ~ 90000rpm으로 다양함 | 용수 온도 범위 | 10 ~ 20°C | |
| (기본 63000rpm) | 최대 흡입 플랜지 온도 | 80°C | ||
| 냉각 방법# | 강제 공냉/수냉 | 1m에서의 소음 수준 | <60dB(A) | |
| 강제 공냉을 위한 주변 공기 온도 | 5 ~ 35°C | 권장 제어기 | EXC300 | |
| 최소 냉각수 유량(용수: 15°C) | 15l h-1 | 정지 전력 소비 | 35W | |
| 용수 온도 범위 | 10 ~ 20°C | 전기 공급장치 전압 | ||
| 최대 흡입 플랜지 온도 | 100°C | 전기 공급장치 주파수(EXC250/300) | 47 – 63Hz | |
| 1m에서의 소음 수준 | <50dB(A) | 펌프 최대 전원 출력 | ||
| 권장 제어기 | TIC100 | EXC300 | 290W | |
| 정지 전원 | 10W | 무게 | ||
| EXT556H ISO/CF | 13.4/21.2kg | |||
| EXT556HF ISO/CF | 19.3/20.5kg | |||
| EXC300 | 4.6kg |