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nEXT 터보 분자 펌프

+ Name	nEXT 터보 분자 펌프
+ Special Feature
+ Application Sphere
+ Application Process

+ Technical Data

	nEXT240D	nEXT300D	nEXT400D
			.
흡입 플랜지	DN100ISO-K, DN100CF	DN100ISO-K, DN100CF	DN160ISO-K, DN160CF
배출 플랜지	DN25NW	DN25NW	DN25NW
펌핑 속도
N₂	240L s^-1	300L s^-1	400L s^-1
He	230L s^-1	340L s^-1	390L s^-1
H₂	165L s^-1	280L s^-1	325L s^-1
압축률
N₂	>1 × 10¹¹	>1 × 10¹¹	>1 × 10¹¹
He	3 x 10⁵	1 x 10⁶	1 x 10⁸
H₂	1 x 10⁴	5 x 10⁴	5 x 10⁵
권장 보조 펌프*	RV12/nXDS10i
통풍 포트	1/8인치 BSP(-)
퍼지 포트	1/8인치 BSP(-)
정격 회전 속도	60,000rpm
대기 회전 속도	33,000 ~ 60,000rpm으로 다양함(기본값: 42,000rpm)
냉각 방법^#	강제 공냉/수냉
강제 공냉을 위한 주변 공기 온도	5 - 35°C
최소 냉각수 유량(용수: 15°C)	15 l h^-1
용수 온도 범위	10 - 20°C
최대 흡입 플랜지 온도	75°C	80°C	70°C
1m에서의 소음 수준	<45dB(A)
권장 제어기	TIC200 터보 및 기기 제어기
정지 전원	일반적으로 20W

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